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Estudo fundamental da remoção de fósforo de silício por tratamento a vácuo (2011)

  • Authors:
  • USP affiliated author: SILVA, PEDRO HENRIQUE BORGES DA - EP
  • School: EP
  • Sigla do Departamento: PMT
  • Subjects: SILÍCIO; VÁCUO; FÍSICO-QUÍMICA
  • Language: Português
  • Abstract: O presente trabalho reúne uma revisão sobre dados e exigências do silício grau solar, principalmente em relação à impureza fósforo, resultados experimentais de remoção de fósforo de silício apresentados na literatura e obtidos por meio de experimentos realizados no Instituto de Pesquisas Tecnológicas e avaliação dos resultados com base no comportamento termodinâmico e cinético do fósforo contido no silício durante o tratamento à vácuo. O trabalho tem como objetivo mais amplo, fornecer dados fundamentais para o desenvolvimento de um processo eficiente de remoção desta impureza presente no silício, a qual constitui uma importante etapa da rota metalúrgica de purificação do silício grau solar. Os ensaios foram realizados com o objetivo de mapear as variáveis mais importantes na cinética do tratamento a vácuo, tais como: temperatura, relação massa/volume e agitação do banho. Os resultados foram comparados com as previsões teóricas da cinética de evaporação do fósforo presente no silício e com dados experimentais encontrados na literatura.
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    • ABNT

      SILVA, Pedro Henrique Borges da. Estudo fundamental da remoção de fósforo de silício por tratamento a vácuo. 2011. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação) – EPUSp, São Paulo, 2011. Disponível em: https://repositorio.usp.br/directbitstream/94fe35fb-c80d-449a-8632-3bb8ce217aa6/PedroHenriqueBorgesdaSilva%20TF2011PMT.pdf. Acesso em: 28 set. 2022.
    • APA

      Silva, P. H. B. da. (2011). Estudo fundamental da remoção de fósforo de silício por tratamento a vácuo (Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação). EPUSp, São Paulo. Recuperado de https://repositorio.usp.br/directbitstream/94fe35fb-c80d-449a-8632-3bb8ce217aa6/PedroHenriqueBorgesdaSilva%20TF2011PMT.pdf
    • NLM

      Silva PHB da. Estudo fundamental da remoção de fósforo de silício por tratamento a vácuo [Internet]. 2011 ;[citado 2022 set. 28 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/94fe35fb-c80d-449a-8632-3bb8ce217aa6/PedroHenriqueBorgesdaSilva%20TF2011PMT.pdf
    • Vancouver

      Silva PHB da. Estudo fundamental da remoção de fósforo de silício por tratamento a vácuo [Internet]. 2011 ;[citado 2022 set. 28 ] Available from: https://repositorio.usp.br/directbitstream/94fe35fb-c80d-449a-8632-3bb8ce217aa6/PedroHenriqueBorgesdaSilva%20TF2011PMT.pdf

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