Deposição e caracterização de filmes finos de WC para fins mecânicos (2004)
- Authors:
- USP affiliated author: PICININ, FÁBIO SANS - EP
- School: EP
- Sigla do Departamento: PMT
- Subject: FILMES FINOS
- Language: Português
- Abstract: Esse trabalho estuda o processo de deposição de filmes de WC por Espirramento Catôdico (Sputtering) sobre aço inox 316L. O alvo de W foi bombardeado e variou-se a concentração de Ch4 do gás da câmara. O filme obtido foi então caracterizado, principalmente pelo uso de microscopia eletrônica de varredura. Observou-se baixa adesão do filme em função de baixa compatibilidade química. Embora a rugosidade do aço tenha proporcionado um certo nível de ancoramento mecânico, a pequena espessura do filme, associada a tensões superficiais de tração, resultaram no descascamento da camada. Um aumento na espessura do filme poderia maximizar a efeito do ancoramento e melhorar a adesão.
- Imprenta:
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ABNT
PICININ, Fábio Sans. Deposição e caracterização de filmes finos de WC para fins mecânicos. 2004. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação) – EPUSP, São Paulo, 2004. Disponível em: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/f3d4f483-d46c-4da3-a634-fd39a267a9f0/FabioSansPicinin%20TF%20PMT.pdf. Acesso em: 02 maio 2024. -
APA
Picinin, F. S. (2004). Deposição e caracterização de filmes finos de WC para fins mecânicos (Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação). EPUSP, São Paulo. Recuperado de https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/f3d4f483-d46c-4da3-a634-fd39a267a9f0/FabioSansPicinin%20TF%20PMT.pdf -
NLM
Picinin FS. Deposição e caracterização de filmes finos de WC para fins mecânicos [Internet]. 2004 ;[citado 2024 maio 02 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/f3d4f483-d46c-4da3-a634-fd39a267a9f0/FabioSansPicinin%20TF%20PMT.pdf -
Vancouver
Picinin FS. Deposição e caracterização de filmes finos de WC para fins mecânicos [Internet]. 2004 ;[citado 2024 maio 02 ] Available from: https://bdta.abcd.usp.br/directbitstream/f3d4f483-d46c-4da3-a634-fd39a267a9f0/FabioSansPicinin%20TF%20PMT.pdf
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